TOFCO THP-CDH 系列
■ THP-CDH系列、是一款由高性能數(shù)字控制電路構(gòu)成、可以實(shí)時處理判斷控制。連接氣體部位經(jīng)過了EP處理，耐蝕性能優(yōu)越，壓力傳感器以及控制電路的計數(shù)法的改善提高了響應(yīng)速度、精確度、再現(xiàn)性等，必要的精確控制廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)。(Pressure insensitive 機(jī)能 )
■ 供給壓力變動時，也能穩(wěn)定地控制流量
■ 快速應(yīng)對·高精度
■ 壓力范圍廣泛容許
■ 數(shù)字通訊：RS-485, Device-NET
■ 流量、壓力、溫度(追加預(yù)定)、Mac ID, 通訊速度等的Display機(jī)能
流量、壓力、溫度( 追加) 的現(xiàn)場顯示。Mac ID, 可以簡單的調(diào)整通訊速度。
| THP-CDH001 | THP-CDH030 | THP-CDH050 | THP-CDH200 |
最大流量(N2) | 5~1,500 sccm | 1,5~30 slm | 30~50 slm | 50~200 slm |
流量測定范圍 | 2~100 % of FS |
測定精度 | ≤ ± 1.0 % of Reading Scale (10~100 % of FS) ≤ ± 0.1 % of FS (2~10 % of FS) |
響應(yīng)時間 | ≤ 1 sec |
直線性 | ≤ ± 0.2 % of FS |
再現(xiàn)性 | ≤ ± 0.15 % of FS |
常用壓力 | 0.5~3 bar |
最大壓力 | 4.5 bar |
閥門關(guān)閉 | < 1 % of FS |
靈點(diǎn)穩(wěn)定度 | < ±0.5 % FSper year |
溫度系數(shù) | 0.01 % Full scale per |
密封性 | 1x10 -11 pa.m 3/sec (He) |
控制閥類型 | Normally Closed Solenoid |
密封材質(zhì) | Metal |
數(shù)字接口 | RS-485 or Device Net |
信號 | 仿真信號： 4～20mA or 0～5VDC |
數(shù)字信號： RS-485 or Device Net |
電源 | +15~24VDC (min 14.5V / Max. 32V) / 0.5A |
使用溫度范圍 | 5～50℃ (精度保證: 15～35 ℃ ) |
預(yù)熱時間 | 15分(精度保證 : 30分) |
材質(zhì) | SUS316L Electro-Polished / Bright Annealing |
Pressure insensitive | < ± 2 % of FS up/down to 5psi/sec. Pressure Spike. |
顯示器類型 | Top View 4digit FND |
