SIERRA Micro-Trak? 101 系列
101系列超低流量，高性能數(shù)字
氣體質(zhì)量流量計和控制儀
Micro-Trak 測量和控制的微流量
值在過去都被視為一個因為過低且不
可靠讀數(shù)。Micro-Trak專門為流量在
0.1~4sccm（smlm）設(shè)計的一款流量計及
控制儀。
101 Micro-Trak就是專門為那些需
要精確及可靠的氣體微質(zhì)量流量（其中
包括腐蝕性氣體和有毒氣體）的用戶而
精心設(shè)計的一款產(chǎn)品。Micro-Trak的發(fā)
明是基于Sierra獲獎數(shù)字系列儀表。所
以，易操作，現(xiàn)場檢定，多氣體切換，
應(yīng)用的靈活性都是它的標準特點。
測量及控制氣體流量從4sccm
（smlm）低至0.1sccm（smlm）；
數(shù)字性能；
Dial-A-Gas多氣體切換性能提供客戶
10種不同氣體測量及控制；
獨特的Pilot Module 界面（本地或遠
程）允許控制及顯示下列功能
氣體
設(shè)定點值
設(shè)定源
工程單位
輸出信號
閥門狀態(tài)
滿量程值
所有的控制功能都可以通過PC或
Smart-Trak軟件控制的工作站實現(xiàn)；
316不銹鋼的結(jié)構(gòu)適合任何清潔氣
體，其中包括腐蝕及有毒氣體；
占地面積小，安裝更為方便；
單邊電源輸入降低了安裝成本及復(fù)雜
性；
每一臺Micro-Trak儀表都包括：
RS-232通訊
模擬通訊
適用于Windows操作系統(tǒng)的軟件
源代碼
標定證書
電氣接口或電纜。
精 度：
±1.0%滿量程其中包括操作時的線性誤差。
±1.0%滿量程，所有10種標準氣體
重復(fù)性：
±0.2%滿量程。
溫度系數(shù)：
±0.025%滿量程每o
F(0.05%滿量程每o
C)或更好。
壓力系數(shù)：
±0.01%滿量程每psi（0.15%滿量程每bar）。
響應(yīng)時間：
由安裝總體積決定。
氣體壓力：
最大500psig（35barg），爆炸測試750psig
（52barg）。
通過儀表壓降：
0.36psi（24.5mbar）。
控制儀所要求的差壓：
130psi（2040mbar）最佳；
21o
C,1psi（68mbar）最小,出口為環(huán)境壓力。
大氣&環(huán)境溫度：
32o
F 到122o
F(0到50o
C)。
泄漏參數(shù)：
5X10-9標準 cc/sec氦氣(最大）。
電源要求：
波紋電壓噪聲峰值與峰值之間不超過
100mV）；
質(zhì)量流量計：15~24VDC±10%（130mA）；
質(zhì)量流量控制儀（C101)：24VDC±10%
（400mA）。
控制儀控制量程：
2~100%滿量程；滿量程為1.9%自行切斷。
輸出信號：
模擬：線性4~20mA,500歐姆最大回路電阻和下列其中一個：線性0~5VDC，
0~10VDC,1~5VDC,1000歐姆的最小負載電
阻；
數(shù)字：RS-232;Pilot Module 顯示（可選）
模擬（任選其一）
線性4~20mA,0~5VDC,0~10VDC,1~5VDC
數(shù)字：RS-232,Pilot Module 顯示可選
